高溫烘烤爐(Bake爐)
High temperature baking furnace

高溫烘烤爐(Bake爐)

應用範圍：烤盤爐該設備可適用於LED行業，半導體製程，烘烤石墨治具等

特點：MOCVD制成之LED磊晶石載片盤的清潔，LED再生晶圓(Wafer)之清理處理。

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